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半導體硅片晶圓切割后常用的切削液
返回列表 來源: 發(fā)布日期: 2023.04.24

晶圓切割切削液是一種用于半導體晶圓切割的特殊加工液。它在晶圓切割加工過程中起到潤滑、冷卻、清洗等多種功能,能夠提高加工精度和效率。

晶圓切割切削液的主要成分包括基礎油、乳化劑、防銹劑、抗菌劑、抗氧化劑等。在使用時,需要根據加工材料的不同、加工條件的不同進行調配,以達到最佳的加工效果。

晶圓切割切削液的應用

晶圓切割切削液的優(yōu)點在于它具有良好的潤滑性和冷卻性能。在切割加工過程中,潤滑油能夠有效地減少摩擦,避免晶圓表面損傷和表面質量降低。同時,它還能夠有效地降低加工溫度,保護晶圓和工具,延長工具壽命。

此外,晶圓切割切削液還具有優(yōu)秀的清洗性能。它能夠有效地清洗切削過程中產生的切屑和碎片,防止它們對晶圓產生損害。同時,它還能夠防止加工過程中產生的氧化物和氫氧化物對晶圓表面產生腐蝕。

在使用晶圓切割切削液時,需要注意以下幾點。首先,應該選擇合適的切削液類型和濃度。其次,在使用前應該充分攪拌均勻,確保切削液能夠充分發(fā)揮作用。最后,在使用過程中應該定期更換切削液,并保持設備的清潔和衛(wèi)生。

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